Ils mesurent environ 1mm² et sont
constitués d’éléments mécaniques pouvant mesurer moins du dix millièmes
de millimètre, comportent au moins un élément mobile ou vibrant et sont
capables de détecter la moindre variation de vitesse, de direction ou
de poids. Nichés dans les systèmes automobiles, les téléphones portables
ou encore les manettes de jeux, les microsystèmes électromécaniques,
MEMS, ont envahi notre quotidien. Depuis trente ans, les chercheurs du
CEA-Leti, à Grenoble, se consacrent à ces dispositifs, en partenariat
avec des industriels. Rencontre avec Philippe Robert, Chef du
Laboratoire composants micro-capteurs au CEA–Leti.
Ils mesurent environ 1mm² et sont
constitués d’éléments mécaniques pouvant mesurer moins du dix millièmes
de millimètre, comportent au moins un élément mobile ou vibrant et sont
capables de détecter la moindre variation de vitesse, de direction ou
de poids. Nichés dans les systèmes automobiles, les téléphones portables
ou encore les manettes de jeux, les microsystèmes électromécaniques,
MEMS, ont envahi notre quotidien. Depuis trente ans, les chercheurs du
CEA-Leti, à Grenoble, se consacrent à ces dispositifs, en partenariat
avec des industriels. Rencontre avec Philippe Robert, Chef du
Laboratoire composants micro-capteurs au CEA–Leti. 
