Optimiser la fabrication et l'intégration de micro-capteurs grâce à l'écriture laser

Optimiser la fabrication et l'intégration de micro-capteurs grâce à l'écriture laser
Gain de coût, gain de temps, miniaturisation ! En jouant sur la puissance d'une source laser et la teneur en oxygène de l'air, des chercheurs de l'Institut de science des matériaux de Mulhouse (CNRS/Université de Haute-Alsace) et leurs collègues taïwanais (National Chiao Tung University, Hsinchu) ont conçu en une seule étape des structures micrométriques composites de dioxyde de titane et carbone. Ce matériau présentant un comportement piézorésistif (sa conductivité électrique peut être modulée par l'application d'une contrainte mécanique) a servi à la conception d'un micro-capteur de pression par écriture laser. Ces travaux, publiés dans la revue Advanced Materials, offrent de belles perspectives à l'intégration simplifiée de microstructures complexes aux propriétés électriques modulables dans des dispositifs microélectroniques, tels que des laboratoires sur puce.